六氟化硫氣體除在合成過(guò)程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外，在氣體的充裝過(guò)程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)均帶有或會(huì )產(chǎn)生一定的毒性物質(zhì)。在下面四種狀況，六氟化硫會(huì )產(chǎn)生毒性：

1、電器設備內的SF6氣體在高溫電弧發(fā)生作用時(shí)而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。

例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應：會(huì )生成氟化亞硫酰、四氟化硫酰 、氟化硫酰等有毒物質(zhì)。

2、電器設備內的六氟化硫氣體分解物與其內的水分發(fā)生化學(xué)反應而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體分解物與水的繼發(fā)性反應生成氫氟酸、二氧化硫、硫酸等

3、電器設備內的SF6氣體及分解物與電極(Cu-W 合金)及金屬材料(AL、Cu)反應而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：六氟化硫氣體及分解物與電極或其它材料反應： ALF3(固態(tài)粉末)ALF3(固態(tài)粉末)CuF2(固態(tài)粉末) 等固態(tài)粉末

4、電器設備內的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)等絕緣件;或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹(shù)脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等產(chǎn)物。

以上這些六氟化硫氣體高溫分解的產(chǎn)物都會(huì )導致六氟化硫氣體產(chǎn)生毒性。我們在選購的時(shí)候首先要避免，找正規廠(chǎng)家購買(mǎi)，并附帶產(chǎn)品檢測報告。因此，為保證純度和質(zhì)量，對出廠(chǎng)的六氟化硫均制定了質(zhì)量標準，并要求生產(chǎn)廠(chǎng)家在供貨時(shí)提供生物試驗無(wú)毒證明書(shū)。