、用做電氣絕緣介質(zhì)

六氟化硫主要用做電氣絕緣介質(zhì)，六氟化硫可以使電器設備小型輕量化且運行安全可靠，同時(shí)還可以降低設備造價(jià)。用六氟化硫作為絕緣介質(zhì)的電力設備主要有變壓器和斷路器。大功率的變壓器大多使用六氟化硫做絕緣介質(zhì)，一些小型六氟化硫已廣泛用做各種研究和工業(yè)用儀器的輔助部件。

2、作為大氣污染研究的示蹤劑

為了研究污染物在大氣中的傳送和擴散規律，人工釋放示蹤劑于大氣中，然后在下風(fēng)方向進(jìn)行追蹤測定，從而驗證和發(fā)展大氣擴散理論，建立大氣污染濃度估算模式。六氟化硫作為示蹤劑的優(yōu)點(diǎn)很多，六氟化硫在常溫下的化學(xué)惰性強，光照下穩定性高，難溶于水，能隨大氣運動(dòng)，無(wú)沉降無(wú)毒。加之其釋放、采取和分析方法簡(jiǎn)單，因而成為當前較理想、應用較廣的一種大氣示蹤劑。

3、在半導體器件生產(chǎn)加工工藝中的應用

氟化物氣體被廣泛應用于半導體加工工藝中。由高純硅組成的晶片是半導體工業(yè)的基礎?？捎梦g刻后的腔體清洗沉積在化學(xué)氣相沉積腔體中，為了防止晶片在下一步驟中被沉積物污染，腔體必須在一定的間隔時(shí)間內進(jìn)行清洗，為了保護環(huán)境，六氟化硫可以循環(huán)使用。