六氟化硫SF6具有卓越的電絕緣性，電絕緣能力是空氣、氮氣的2。5倍左右。六氟化硫具有很好的滅弧性能，其滅弧能力是空氣的100倍左右，而且六氟化硫的化學(xué)性質(zhì)非常穩定，所以六氟化硫被廣泛用作絕緣氣體，如六氟化硫繼電器，六氟化硫高壓斷路器，六氟化硫互導傳感器，六氟化硫避雷針等等。
  
在鎂合金、鎂鋁合金的冶煉過(guò)程中，常常用六氟化硫氣體或者六氟化硫和氮氣的混合氣體作為保護氣體，其目的是防止金屬鎂及其合金被空氣氧化。
在TFT-LCD面板廠(chǎng)及其他微電子行業(yè)，六氟化硫常用作清潔氣體和蝕刻氣體，在光導纖維的生產(chǎn)過(guò)程中，也常用六氟化硫作為單膜光纖隔離層摻雜劑。